300mmラインにおける熱処理
300mmラインでは、2℃のドリフトを伴う15秒のソフトベイクがレジスト内のライン幅の変動として現れます。露光は一度きりです。私たちは熱的予算をウィンドウ内に保つために、サイクルごとに迅速な応答を持つ赤外線ヒーターバルブを構築しました。
内部の重要な要素 私たちはクォーツエンベロープ内に短波ハロゲン要素を使用しています。これは迅速な放射応答と安定した放射率を実現するために選ばれました。応答時間は200ms未満で、温度制御はウェーハ表面全体で±0.1℃を維持します。この設計は、粒子生成ゼロのクラス1–100クリーンルームで使用され、出力は5,000時間以上で5%未満の劣化で再現可能です。
フォトレジスト処理での効果 ソフトベイク、ハードベイク、近接ベーキング—温度の均一性がCDの均一性と欠陥密度を決定します。迅速な応答により安定化ウィンドウが縮小し、均一性を損なうことなくアイドルタイムを削減できます。結果として、スループットが向上し、プロセスウィンドウが厳密になり、廃棄ウェーハが減少します。エネルギー使用も削減され、熱は蓄えられるのではなく、必要に応じて供給されます。
注意が必要な点 設置公差は厳密です。バルブはリフレクターの形状および目標距離に整列する必要があります。そうでないと、ホットスポットや均一性のドリフトが発生します。変更前に、ツールのソケット、電圧、取り付けハードウェアを確認してください。標準インターフェースをサポートしていますが、従来のベークプレートにはカスタムフィクスチャが必要な場合があります。性能を維持するために、リフレクターは2,000時間ごとに検査する計画を立ててください。