高速応答赤外線ヒーターバルブ

300mmラインにおける熱処理 300mmラインでは、2℃のドリフトを伴う15秒のソフトベイクがレジスト内のライン幅の変動として現れます。露光は一度きりです。私たちは熱的予算をウィンドウ内に保つために、サイクルごとに迅速な応答を持つ赤外線ヒーターバルブを構築しました。 内部の重要な要素 私たちはク...