揮発性化学物質の近くでウェーハを加熱する際に、安全を確保する方法
正直言って、赤外線ランプを可燃性溶剤や爆発性の蒸気のすぐそばに置くのは、非常に危険な行為です。もし、化学洗浄ラインで通常のオープン型のランプを使用しているのであれば、それはまるで災害を招くことに他なりません。
私たちは、そうした問題を解決するために、オープン型の設計を捨て、特殊な封止処理を施したランプを使用しています。
「セーフティバブル」の働き
私たちは、ランプを高純度の石英や特殊なガラスで覆います。これは、単に清潔を保つためだけではありません。この封止処理により、電気部品と周囲の空気との間に物理的な壁ができます。何かが漏れ込まないように、接続部にはセラミックと金属のシールを使用しています。これにより、化学物質の蒸気が内部に入るのを防ぎます。
なぜこれが重要かというと、もし蒸気がチャンバー内に入ってしまった場合、封止処理されたランプによって電気アークが発生し、火災が起きるのを防げるからです。また、外表面の温度も厳重に監視します。もしケースが過度に熱くなってしまうと、洗浄剤の自動着火点に達してしまい、それは避けたいことです。
安定性の確保
私たちは短波長の赤外線を使用しています。これにより、ウェーハの表面に直接熱が伝わります。周囲の空気を温めるエネルギーの無駄がなくなり、その結果、浴槽内の化学物質が急激に蒸発することもありません。
速いです。本当に速いです。しかし、シール部分に過度な負担がかからないように注意する必要があります。また、細かい点も見逃しません。機械が動作している間に配線が緩むのを防ぐために、強化されたコネクタを使用しています。配線が緩むとホットスポットが発生し、化学物質がある環境では、それは火災の原因になり得ます。
テレードオフ
完璧なものはありません。フィラメントとウェーハの間に保護層を設けることで、裸のランプと比べて熱伝達効率が少し低下します。そのため、目標温度に到達するためには、ワット数を上げたり、ウェーハを少し長く保持する必要があります。必ずPLCの設定を調整して、設定値を超えてしまわないようにしてください。