省エネ型ウェーハヒーター

揮発性化学物質の近くでウェーハを加熱する際に、安全を確保する方法 正直言って、赤外線ランプを可燃性溶剤や爆発性の蒸気のすぐそばに置くのは、非常に危険な行為です。もし、化学洗浄ラインで通常のオープン型のランプを使用しているのであれば、それはまるで災害を招くことに他なりません。 私たちは、そうした問題...