省エネ型半導体ヒーター
なぜ半導体ヒーターの絶縁性能を厳しくチェックするのか? 私たちは、工場から出荷されるすべてのヒーターチューブをテストします。一つ残らずです。 半導体の世界では、「もしかすると」ということは許されません。わずかな隙間や絶縁材の摩耗だけでも、装置の故障を引き起こすだけでなく、最悪の場合は装置が破壊され...
ファブ乾燥のエネルギー診断
化学処理を行うエリアでIR加熱を安全に利用するために
半導体工場でウェーハを乾燥させる際、通常はかなり危険な化学物質を扱っていることになります。これは非常に不安定な状況です。もしその蒸気が空気中に拡散し、何かの火花や過度に発熱している部品に触れたら、爆発の原因となります。だからこそ、私たちは単純に...
省エネ型ウェーハヒーター
揮発性化学物質の近くでウェーハを加熱する際に、安全を確保する方法
正直言って、赤外線ランプを可燃性溶剤や爆発性の蒸気のすぐそばに置くのは、非常に危険な行為です。もし、化学洗浄ラインで通常のオープン型のランプを使用しているのであれば、それはまるで災害を招くことに他なりません。
私たちは、そうした問題...