なぜ私たちは、ファブ内で従来の対流式加熱から赤外線加熱に切り替えているのか？ 通常の対流式オーブンの仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その空気がウェハーを温めるのです。これは非常に遅いプロセスです。温度が上がるのを待つ間、時間が無駄になってしまいます。半導体工場では、このような待ち時間...

炎上する赤外線ランプによる被害を防ぐ方法 半導体製造工場において、赤外線ランプが炎上するのは単なる技術的なトラブルではありません。それは大惨事です。 石英管が過度な負荷に耐えられずに破損すると、単に動かなくなるだけでなく、砕け散ってしまいます。その結果、破片や微細な粒子がウェーハに直接降り注ぎます...

化学処理エリアでの赤外線ヒーターの心配はもうやめましょう。 正直に言って、可燃性溶剤や爆発性の蒸気のある場所で赤外線ランプを使うのは、非常に危険なことです。単純な石英管は、そのような環境ではまるで時限爆弾のようなものです。わずかなひび割れや端子からの火花があれば、瞬時に火災が発生してしまいます。...