リソグラフィーの工程では、すぐに習得できます。わずかなバックアップやハードバックアップの誤差だけでも、予期せぬ品質低下を引き起こします。半度程度の誤差でも、重要な寸法が目標値から外れてしまいます。また、粒子の増加によって、良質なウェーハが瞬く間に廃棄物になってしまうこともあります。DUVレジストの...

リソグラフィーの工程において、ラミネーション用ヒーターは単に熱を供給するだけではありません。それは、フォトレジスト全体の温度管理を担っているのです。ソフトベイク時に0.5℃の温度変動があれば、粘度やエッジビード、そして重要な寸法制御に影響が出ます。基板全体で±0.1℃以内の均一性が求められる場合、...