半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

フォトレジストの焼成時に0.5度程度のずれが生じるだけで、製品の寸法が規格範囲を外してしまいます。ウェーハの乾燥速度が遅いと、処理時間が長引き、表面汚染のリスクも高まります。そのため、プロセスのばらつきをなくすために、クリーンルーム用のトロリーキャビネットにヒーターを搭載しています。 設計上のポイ...