クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法 MEMSセンサーワエハを乾燥させる際、ご存知の通り、わずかなほこりの粒がワエハに付着するだけで、そのワエハは使えなくなってしまいます。本当に厄介です。 問題は、一般的な加熱要素は実際には微粒子を発生させる装置だということです。それらの微粒子が...

化学処理を行うエリアでIR加熱を安全に利用するために 半導体工場でウェーハを乾燥させる際、通常はかなり危険な化学物質を扱っていることになります。これは非常に不安定な状況です。もしその蒸気が空気中に拡散し、何かの火花や過度に発熱している部品に触れたら、爆発の原因となります。だからこそ、私たちは単純に...

壊れたランプによって、生産されるウェーハが台無しになってはいけません。MEMSウェーハを清潔に保つことが重要です。 大量生産の環境では、1つの故障が全体を台無しにしてしまうことがあります。例えば、赤外線ランプが破損すると、ウェーハは湿っただけでなく、ガラスの破片や金属の粉で覆われてしまいます。これ...

ラインに戻ると、ウェットMEMSウエハが洗浄から出てきて待機しています。次の工程であるフォトレジスト塗布、ソフトベイク、クリーンドライは、熱的ドリフトに対してゼロトレランスです。1℃のホットスポットが表面に当たると、ライン幅制御は運任せになります。このMEMSウエハ乾燥ヒーターは、リソグラフィスタ...