化学処理を行うエリアでIR加熱を安全に利用するために
半導体工場でウェーハを乾燥させる際、通常はかなり危険な化学物質を扱っていることになります。これは非常に不安定な状況です。もしその蒸気が空気中に拡散し、何かの火花や過度に発熱している部品に触れたら、爆発の原因となります。だからこそ、私たちは単純にIRランプを作るだけではなく、それを保護シェルで覆って、爆発を防ぐのです。
蒸気の対処方法
ほとんどのIRランプでは、電極や配線が露出したままになっています。化学工場では、これは大変な問題です。
私たちは異なる方法を採用しています。耐久性の高い外装と、特殊な石英と金属の密封構造を使用しています。まるで鎧のようなものです。これにより、高電圧部分と空気中の蒸気との間に物理的な壁ができます。たとえ化学物質が漏れ出したり、蒸気が溜まっても、ガスはランプの動作部に届かず、外側に留まります。
熱の管理
安全というのは、単に火花を避けるだけではありません。表面温度も重要です。誰もが、ランプの外殻が熱くなりすぎて、使用している化学物質に火がつくことを望みません。
これを解決するために、高品質な反射板を使用しています。これにより、熱がウェーハの方へ直接伝わり、装置の背面が冷たく保たれます。これにより、装置のフレームに熱点ができるのを防ぎます。
ただし、エアフローを正確に管理する必要があります。排気ファンが停止すると、チャンバー内の熱が蓄積され、最終的には保護シェルの限界を超えてしまいます。ですから、ファンを常に動かし続ける必要があります。
実際の利用
これらのランプは、実際にメンテナンスを行う人々のために作られています。技術者が危険な環境で複雑な配線の調整に時間を費やすのは望ましいことではありません。
当社のコネクタはプラグアンドプレイ式で、化学薬品にも耐えられるように設計されているため、腐食性のある洗剤がかかっても壊れたり劣化したりしません。これにより、メンテナンスがより簡単になります。
ただし、一つだけ注意点があります。このような安全装置のおかげで、これらのランプは通常の電球よりも少し大きくなってしまいます。スペースを多く取ってしまいます。ですから、配線を開始する前に、チャンバーのスペースをしっかり確認してください。