パティオヒーターと天井との距離
赤外線を使って、バスルームのカビ問題を解決しよう。
多くの人は、バスルーム用の赤外線ランプというのは、服を着るときに体が冷えないようにするための便利な道具に過ぎないと思っています。しかし、私たちはそうは考えていません。私たちがこのランプを設計したのは、単に体を温めるだけではなく、カビが発生する原因...
ウェーハ加熱時の安全距離
リソグラフィーの工程では、ウエハーを加熱する際の安全距離というのは、単なる「快適な範囲」などではありません。それは厳格な制御が必要な領域です。距離が近すぎると、熱的な干渉やレジストの形状歪み、粒子の移動が起こります。一方、距離が遠すぎると、十分な加熱効果が得られず、CDの均一性が規格から外れてしま...