휘발성 화학물질 근처에서 웨이퍼를 가열할 때 안전을 유지하는 방법
솔직히 말해서, 적외선 램프를 인화성 용매나 폭발성 기체와 가까이 두는 것은 매우 위험한 행동입니다. 만약 화학물질 청소 과정에서 일반적인 개방형 램프를 사용한다면, 그건 사실상 재난을 초래하는 행위와 같습니다.
이러한 문제를 해결하기 위해 우리는 개방형 설계를 버리고 특수한 밀폐 구조를 사용합니다.
“안전 버블”의 작동 원리
우리는 램프를 고품질의 석영이나 특수 유리로 감싸줍니다. 이렇게 하면 단순히 먼지를 막는 것뿐만 아니라, 전기 부품과 주변 공기 사이에 물리적인 장벽이 형성됩니다.
아무것도 들어오지 못하도록 하기 위해, 우리는 연결 부분에 세라믹과 금속으로 만들어진 밀폐장치를 사용합니다. 이러한 장치 덕분에 화학물질의 기체가 램프 내부로 들어오는 것을 막을 수 있습니다.
왜 이게 중요한가 하면, 만약 기체가 램프 내부로 들어온다면, 밀폐된 램프가 전기 스파크로 인한 화재를 막아줍니다. 또한, 우리는 램프의 외부 온도도 세심하게 관리합니다. 만약 램프의 온도가 너무 높아진다면, 청소용 화학물질이 자연 발화할 수 있으며, 그런 상황은 결코 원치 않습니다.
안정성 유지
우리는 단파 적외선을 사용합니다. 이 방식은 웨이퍼 표면에 직접 에너지를 전달하기 때문에, 주변 공기를 가열하는 데 에너지가 낭비되지 않습니다. 따라서 용액 속의 화학물질들이 너무 빨리 증발하는 것을 방지할 수 있습니다.
속도는 매우 빠릅니다. 하지만 밀폐장치에 과도한 부담을 주지 않도록 주의해야 합니다.
또한, 우리는 작은 부분까지도 신경 씁니다. 기계가 작동할 때 배선이 흔들리지 않도록 특수한 커넥터를 사용합니다. 배선이 흔들리면 열점이 생기고, 화학물질이 있는 환경에서는 그 열점이 곧 화재의 원인이 됩니다.
타협점
완벽한 것은 없습니다. 필라멘트와 웨이퍼 사이에 보호층을 추가하면, 일반 램프에 비해 열 전달 효율이 약간 떨어집니다.
목표 온도에 도달하기 위해서는 와트수를 높이거나 웨이퍼를 조금 더 오랫동안 가열해야 할 수도 있습니다. 설정된 온도를 초과하지 않도록 PLC 설정을 잘 조절하는 것이 중요합니다.