더 이상 오븐을 기다리지 마세요: 왜 적외선이 최선의 선택인가요?
반도체 제조 과정에서 깊은 처리를 할 때면 “기다린다는 것”이 얼마나 짜증나는 일인지 잘 알고 계실 것입니다.
우리 대부분은 강제 대류 방식에 익숙해 있습니다. 공기를 가열하고, 그 공기가 기판을 가열하는 방식이죠. 하지만 이 방식은 매우 느립니다. 게다가 열 전달에 시간이 오래 걸려서 전체 생산 과정에 병목 현상이 발생합니다.
이건 정말 번거로운 일입니다.
적외선의 장점은 바로 여기에 있습니다.
적외선 히터는 공기를 이용하지 않습니다. 전자기파를 직접 목표물에 보내는 것이죠.
속도 면에서 큰 차이가 납니다. 방 전체가 천천히 설정된 온도에 도달하기를 기다릴 필요가 없습니다. 적외선 램프는 거의 즉시 작동합니다. 준비 시간이 분 단위에서 초 단위로 줄어듭니다. 모든 웨이퍼를 처리하는 데 드는 시간을 줄이면, 하루 동안 처리할 수 있는 양도 크게 증가합니다.
청결 유지 문제도 해결됩니다.
강제 대류 방식에서는 열을 전달하기 위해 큰 팬과 복잡한 배관이 필요합니다. 하지만 클린룸에서는 공기를 움직이는 것 자체가 문제가 됩니다. 공기가 움직이면 먼지가 생기고 소용돌이가 발생합니다.
적외선 시스템에는 움직이는 부품이 없습니다. 팬도 없고, 바람도 없으며, 오염 위험도 훨씬 적습니다. 게다가 무거운 공기 처리 장비를 사용할 필요가 없어서 공간도 훨씬 적게 차지합니다.
단점도 있습니다.
적외선도 마법의 지팡이는 아닙니다. 신중하게 사용해야 합니다.
적외선은 직선으로만 작용하기 때문에, 부품들이 쌓여 있거나 형태가 복잡한 경우에는 문제가 생길 수 있습니다. 그냥 오래된 대류 오븐에 램프를 넣고 기대할 수는 없습니다.
열이 골고루 전달되도록 반사판을 사용해야 합니다. 또한, 적외선의 세기가 매우 강력하기 때문에 센서도 정확하게 작동해야 합니다. PID 제어가 느리다면 온도가 너무 높아져서 기판이 손상될 수 있습니다.
하지만 Wiring을 제대로 하고 열이 골고루 전달되도록 한다면, 불필요한 대기 시간을 없애고 생산 과정을 원활하게 진행할 수 있습니다.