UHP 적외선 램프의 안전한 설계를 통한 웨이퍼 오염 방지
혼란을 막는 방법: UHP 난방 시 발생하는 입자 오염 문제 해결하기 고부하가 요구되는 반도체 제조 환경에서는 램프가 고장 나는 것이 단순한 문제가 아닙니다. 그것은 심각한 재앙입니다. 쿼츠 튜브가 파손되면, 램프는 작동을 멈출 뿐만 아니라, 유리 조각과 입자들이 웨...
고순도 석영 IR 램프를 활용한 MEMS 웨이퍼 건조 시 오염 없는 가열 실현
클래스 100 등급의 청정실을 실제로 깨끗하게 유지하는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 이미 그 고통을 잘 알고 있을 것입니다. 웨이퍼 위에 단 한 방울의 먼지만 떨어져도 전체 제품이 망가지는 것입니다. 정말 짜증나는 일이죠. 문제는 대부분의 일반적인 가열...
팹 램프용 석영 유리 실드
왜 쿼츠 실드가 팹 램프에 그토록 중요한지
웨이퍼 가공을 위해 적외선 난방 램프를 사용하는 경우, 열 주기가 빠르고 정확해야 한다는 것을 잘 알고 있을 것입니다. 이를 실현하기 위해서는 모든 것이 엉망이 되지 않도록 램프 앞에 쿼츠 유리 실드를 설치합니다.
이는 단순...