클래스 100 등급의 청정실을 실제로 깨끗하게 유지하는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 이미 그 고통을 잘 알고 있을 것입니다. 웨이퍼 위에 단 한 방울의 먼지만 떨어져도 전체 제품이 망가지는 것입니다. 정말 짜증나는 일이죠. 문제는 대부분의 일반적인 가열...

리소그래피 공정에서 웨이퍼 가열 부분 주변의 안전 거리는 단순한 편안한 공간이 아닙니다. 그것은 엄격한 공정 제어 범위입니다. 너무 가까이 다가가면 열적 간섭, 저항값의 변형, 입자 발생 등의 문제가 생깁니다. 반대로 너무 멀리 떨어지면 가열 효과가 충분하지 않아...

300mm 공정에서 포토레지스트를 건조시키는 과정은 단순한 열처리 단계가 아닙니다. 이는 치수 정밀도를 보장하는 매우 중요한 과정입니다. 만약 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 온도가 ±0.1°C만큼이라도 벗어나면, 치수 제어가 불가능해집니다. 일반적인 가열판 방...