UHP 적외선 램프의 안전한 설계를 통한 웨이퍼 오염 방지
혼란을 막는 방법: UHP 난방 시 발생하는 입자 오염 문제 해결하기 고부하가 요구되는 반도체 제조 환경에서는 램프가 고장 나는 것이 단순한 문제가 아닙니다. 그것은 심각한 재앙입니다. 쿼츠 튜브가 파손되면, 램프는 작동을 멈출 뿐만 아니라, 유리 조각과 입자들이 웨...
스테인리스 스틸 IR 히터 하우징 설계를 통한 웨이퍼 오염 방지
IR 램프의 폭발 위험을 막는 방법 반도체 공장에서 IR 램프가 폭발하는 것은 단순한 기술적 문제가 아닙니다. 그것은 치명적인 재앙입니다. 쿼츠 튜브가 과도한 부하를 견디지 못해 파손되면, 더 이상 작동하지 않을 뿐만 아니라 산산조각이 납니다. 그로 인해 파편들이 웨...