De warmte op de juiste plek brengen
Wanneer je een wafer verwarmt in het semiconductorproces, is het niet voldoende om gewoon de vermogenssterkte op te voeren. Iedereen kan energie naar een probleem sturen, maar het echte geheim zit in het gericht sturen van die energie.
Als de infrarode straling ook in het frame van de machine terechtkomt, verspil je alleen maar elektriciteit en wordt het te heet in delen van de machine die juist koel moeten blijven. Daarom gebruiken we reflectoren die bedekt zijn met goud. Dit zorgt er namelijk voor dat de energie precies op de juiste plek terechtkomt.
Waarom goud?
Denk eens aan een gewone kwartslamp: deze stuurt straling overal naartoe. In een kleine ruimte kan dit leiden tot oververhitting van de omliggende onderdelen.
We gebruiken een dunne laag goud op de reflectoren, omdat goud de infrarode straling beter kan weerkaatsen dan aluminium of gepolijst staal. Hierdoor wordt de warmte beter gefocust.
Het resultaat? Elke watt die je uit het stopcontact haalt, komt daadwerkelijk terecht op de wafer. Dat is efficiënt. Eenvoudig, toch?
Het evenwicht vinden
Het gaat allemaal om de energiedichtheid. Door de geometrie aan te passen en gebruik te maken van de goudlaag, kunnen we de warmtestroom concentreren. Hierdoor kun je de temperatuur sneller opvoeren. In dit vakgebied is een snelle thermische reactie vaak cruciaal om een stabiel proces te behouden.
Maar je kunt het niet zomaar tot het uiterste drijven. Hoge dichtheid aan straling zet veel druk op de luchtsloten en het behuizing van de lamp. Als je probeert de tijd tussen cycli te verkorten door de vermogenssterkte te verhogen, zal de filament beschadigen of zal de reflector vervormen. Je moet er ook voor zorgen dat je koelsysteem alle warmte kan afvoeren die niet bij de wafer terechtkomt.
Het apparaat in bedrijf houden
We hebben deze verwarmers ontworpen zodat ze gemakkelijk als vervanging kunnen dienen. Ze passen dus zonder problemen in je bestaande apparaten.
Eén waarschuwing: goud is gevoelig. Als olie of chemicaliën op de goudlaag terechtkomen, neemt de reflectiviteit af. Dan wordt de warmteverdeling chaotisch. We hanteren strenge reinigingsprotocollen, omdat het belangrijk is dat het goud schoon blijft. Anders krijg je koude plekken op de wafers, en dat is een probleem dat je liever niet wilt hebben tijdens het proces.