Как избавиться от пыли: как добиться полного отсутствия загрязнений при нагреве
Если вы используете чистую комнату класса 100, вы уже знаете, с чем приходится сталкиваться. Даже один крошечный фрагмент материала, отлетевший от нагревателя, является серьезной проблемой — это настоящий сбой в работе оборудования. Большинство стандартных резистивных нагревателей представляют собой источник проблем: со временем они начинают выделять газы или даже разрушаться.
Мы избавились от этих проблем, перейдя на нагревательные элементы из углеродного волокна, заключенные в трубки из высокочистого кварца.
Почему углеродное волокно?
Металлические нити окисляются, разрушаются и выделяют микроскопические частицы. Углеродное волокно не подвержено таким процессам. Нагревательные элементы помещаются в трубки из синтетического кварца в условиях высокого вакуума. Это позволяет сохранять высокий уровень чистоты, так как никакие примеси не могут попасть в рабочую зону. К тому же такие нагреватели быстро достигают заданной температуры.
Секреты успешной установки
Большинство загрязнений возникает не в самом нагревателе, а в местах его соединения с другими компонентами. Мы используем специальные уплотнители из стекла и металла, чтобы ничего не могло проникнуть изнутри нагревателя. Мы также шлифуем поверхность кварца — ведь микроскопические неровности являются местом скопления пыли. Гладкая поверхность не позволяет пыли скапливаться.
Еще один совет относительно комплектующих: обращайте внимание на крепления. Кажется, что это просто, но использование дешевых стальных клипс приводит к проблемам. Они ржавеют и разрушаются. Лучше использовать крепления из нержавеющей стали или покрытые PTFE.
Установка нагревателей
Эти нагреватели выделяют очень интенсивное тепло. Это хорошо, ведь это позволяет сделать оборудование более компактным. Но это также означает, что необходимо точно контролировать напряжение питания. Даже небольшое колебание напряжения может повредить нагревательный элемент.
Еще один совет относительно проводки: используйте кабели из FEP или PTFE вместо стандартных кабелей из ПВХ. Также следите за потоком воздуха — если охлаждение не будет сбалансировано, тепло от кварцевых трубок может повредить окружающие пластиковые элементы. Обеспечьте правильный поток воздуха, и все будет в порядке.