Hãy ngăn chặn việc các bóng đèn bị hỏng làm hủy hoại các tấm wafer của bạn.
Khi bạn vận hành quy trình xử lý wafer ở mức công suất cao, việc bóng đèn bị hỏng không chỉ gây ra những phiền toái nhỏ mà còn dẫn đến thiệt hại nghiêm trọng. Nếu ống thủy tinh bị vỡ, những mảnh thủy tinh và chất halogen sẽ rơi trực tiếp lên bề mặt silicon của wafer. Kết quả là toàn bộ lô sản phẩm sẽ bị hỏng. Đó là một thảm họa nghiêm trọng.
Chúng tôi đã tìm ra cách để ngăn chặn điều này xảy ra. Chúng tôi tạo ra một lớp bảo vệ bằng cách lắp thêm một vật liệu phản xạ vào vỏ bọc của bóng đèn.
Cách hoạt động của lớp bảo vệ này
Vai trò của bộ phản xạ là phản chiếu bức xạ hồng ngoại trở lại về phía wafer, nhờ vào lớp phủ bằng nhôm hoặc vàng có độ tinh khiết cao. Nhưng nó còn có chức năng quan trọng hơn nữa: tạo ra một lớp bảo vệ. Khi ống thủy tinh bị hỏng, lớp bảo vệ này sẽ giữ lại các mảnh vụn, giúp tránh việc chúng làm hỏng sản phẩm. Đó là cách kiểm soát tình huống hỏng hóc một cách hiệu quả.
Xử lý vấn đề nhiệt độ
Việc vận hành các bóng đèn ở mức công suất cao tạo ra lượng nhiệt lớn. Chúng tôi đã điều chỉnh cấu trúc của bộ phản xạ sao cho năng lượng được chuyển hướng đúng vào bề mặt wafer. Điều này giúp giảm lượng nhiệt thừa trong buồng xử lý và rút ngắn thời gian xử lý.
Tuy nhiên, điểm tập trung nhiệt cao sẽ gây áp lực lớn lên đầu ống thủy tinh. Bạn cần đảm bảo rằng các quạt làm mát có đủ sức để đưa nhiệt ra khỏi bóng đèn. Nếu không, bóng đèn sẽ lại bị hỏng sớm.
Lắp đặt vào hệ thống
Chúng tôi thiết kế những bóng đèn này để có thể thay thế ngay lập tức. Bạn không cần phải tháo rời toàn bộ hệ thống xử lý chỉ để lắp thêm lớp bảo vệ. Bóng đèn có thể được gắn trực tiếp vào khung, vì vậy nó không chiếm thêm diện tích. Khi bóng đèn bị hỏng, bạn chỉ cần thay thế nó, lau sạch bộ phản xạ, rồi tiếp tục công việc. Như vậy, tình huống hỏng hóc nghiêm trọng sẽ trở thành một công việc bảo trì thông thường thôi.