Het voorkomen van problemen: omgaan met deeltjescontaminatie bij UHP-verwarming
In een semi-conductoreninstallatie met hoge belasting is het uitvallen van een lamp meer dan alleen een irritant probleem of wat stilstand. Het is een ramp. Wanneer een kwartstube kapotgaat, stopt deze niet alleen met werken – ook het oppervlak van de wafer wordt bedekt met glasdeeltjes en andere stofdeeltjes. Hierdoor verdwijnt de opbrengst van de productie, en moet de hele ruimte grondig worden gereinigd. Het is een nachtmerrie.
Hoe we dit voorkomen
We ontwerpen onze UHP-lampen zo dat ze bestand zijn tegen zware belastingen. Door het gebruik van zeer zuiver synthetisch kwarts kunnen we dit bereiken. We gebruiken ook een specifiek halogeenproces. Waarom? Omdat dit voorkomt dat tungst verdampt en de wanden donker worden. Als de wanden schoon blijven, blijft de warmte gelijkmatig verdeeld. Er zijn geen ‘hot spots’, geen abnormale spanningen – en vooral: geen gebreken in de lampen. Maar we vertrouwen niet alleen op de sterke constructie van het glas. We maken gebruik van een dubbele bescherming. De lamp zit in een hoogwaardige kwartsknoop. Als de binnenste filamentbuis kapotgaat, vangt de buitenste knoop alle brokstukken op. Hierdoor blijft de siliciumlaag schoon.
Omgaan met de hitte
Lampen met hoge vermogens genereren enorme hoeveelheden hitte. Als het koelsysteem de belasting niet aankan, gaan de uiteinden van de lamp oververhitten. Dan falen meestal de sluitingen. Om dit te voorkomen, hebben we de sluitingen versterkt, zodat de gassen op hun plek blijven. Een tips: let goed op de snelheid waarmee je de temperatuur verandert. Als je de temperatuur te snel verandert, komt er veel mechanische belasting op het kwarts terecht. Gebruik nauwkeurige PID-regelingen en vertraag de veranderingen. Op deze manier gaan je lampen langer mee.
Installatie
Deze lampen kunnen eenvoudig worden vervangen door standaard UHP-lampen. Er is geen extra werk voor nodig. We gebruiken precisiegemaakte verbindingen, want een goede elektrische verbinding is essentieel. Als de verbinding loszit, kan er kortsluiting optreden. Dat beschadigt de elektroden en verkort de levensduur van de lamp aanzienlijk. Kijk ook goed naar je stroomvoorziening. Als de spanning te hoog wordt, loopt het risico op een kapotte filament. Houd de spanning stabiel, zodat je minder vaak lampen hoeft te vervangen.