
Waarom wachten op warme lucht? IR-verwarming in halfgeleiderverwerking Als je al eens hebt gewerkt met de diepe verwerking van halfgeleiders, weet je vast hoe het gaat met gebruik van geforceerde luchtcirculatie. Je zet het apparaat aan en wacht dan. In feite wordt er alleen maar lucht opgewarmd, zodat het te bewerken onderdeel de gewenste temperatuur bereikt. Het is traag en tijdrovend. IR-lampen werken anders. In plaats van de lucht op te warmen, sturen ze energie rechtstreeks naar het te bewerken materiaal.Het wachten is voorbij. Denk eens na over de thermische inertie van een systeem dat gebruikmaakt van geforceerde luchtcirculatie. Het duurt eeuwen voordat de lucht goed kan circuleren en daardoor stabiliseert. In een productielijn met hoge productiesnelheden zijn deze minuten niet alleen storend, maar ook kostbaar. Als we overstappen op IR-verwarming, nemen de opstarttijden meestal af met 70% tot 90%. We hebben het hier over seconden, geen minuten. Hierdoor neemt de ruimte die nodig is om het apparaat te plaatsen af, stijgt de productiesnelheid en hoef je niet meer te wachten op de timer. Er is echter één probleem: ozon. Standaard IR-lampen kunnen wat te agressief werken. Ze genereren golflengten onder de 200 nm, waardoor ozon wordt geproduceerd. In een gesloten ruimte of in een schone ruimte is dit een nachtmerrie. Ozon tast organisch materiaal aan en corrodeert zelfs de circuits die je probeert te bouwen. Om dit op te lossen gebruiken we speciale kwartsomhulsels en interne filters. Deze blokkeren de schadelijke VUV-golflengten. Je krijgt nog steeds een hoge hitteintensiteit, maar zonder de negatieve effecten van ozon. Eerlijk gezegd is IR geen magisch wondermiddel. Het heeft ook zijn nadelen. Omdat IR-directioneel is, moet er een duidelijke zichtlijn zijn. Als je onderdeel diepe inkepingen of een complexe vorm heeft, ontstaan er ‘koude plekken’. Je kunt geen lamp zomaar in een oude oven stoppen en hopen op het beste resultaat. Je moet de hoeken en positie van de reflectoren precies goed instellen, zodat alles gelijkmatig wordt opgewarmd. En nog één ding: de vermogensdichtheid is enorm. Als je geen goede koeling hebt voor de lampen, zal je behuizing beschadigen. Het vereist wat meer planning, maar de snelheid is het zeker waard.