洗浄用防水赤外線ランプ

半導体の洗浄工程における「ホットウォール」問題の解決策 半導体のウェットプロセスに携わったことがある人なら、その苦労はよく理解しているでしょう。洗浄処理中にウェーハを加熱する必要がありますが、装置の外殻がオーブンのようになってしまうのは避けたいものです。 従来の放射型ヒーターは、基本的に電球のよう...