RTPシステム用ハロゲンランプ

ファブフロアでの課題 ラピッドサーマルプロセッシング（RTP）における熱ドリフトは熱予算を圧迫し、フォトレジストのプロファイルが崩れ始める。ウェーハレベルの均一性は単なる理論上の指標ではなく、利益の出る生産と廃棄の境界線である。 実際に重要なポイント RTP用には、短波長出力と石英エンクロージャを...