壊れたランプによって、生産されるウェーハが台無しになってはいけません。MEMSウェーハを清潔に保つことが重要です。 大量生産の環境では、1つの故障が全体を台無しにしてしまうことがあります。例えば、赤外線ランプが破損すると、ウェーハは湿っただけでなく、ガラスの破片や金属の粉で覆われてしまいます。これ...

水素センサーを作るには、極度の精度が求められます。もし加熱の位置が適切でなければ、化学的な沈着がうまく行わず、センサー全体が使い物にならなくなってしまいます。私たちは、そのような厳しい要件に対応できるヒーターを開発していますが、正直なところ、加熱自体は比較的簡単な部分です。本当に難しいのは、電気的...

工具の内壁にエネルギーを無駄に使うのはやめましょう。 シリコンウェーハを加熱するには大量のエネルギーが必要です。問題は、一般的なIR装置ではその熱があちこちに散らばってしまうことです。結果として、エネルギーの大部分がウェーハではなく、工具の内壁に当たってしまいます。 要するに、装置の筐体が巨大なヒ...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つにはどうすればよいか？ もしあなたがクラス100のクリーンルームを運営しているなら、汚染という問題がいかに深刻かをご存知でしょう。わずかなガラスの破片や、加熱要素から発生する気体さえあれば、作業中の製品が台無しになってしまいます。 ほとんどの一般...

問題点：ウェーハ処理装置における熱の管理 ウェーハ処理装置について話しましょう。確かに、熱は必要ですが、それは正確で制御された熱でなければなりません。 従来の方法では、熱があちこちに散らばってしまい、エネルギーが無駄になります。また、チャンバーの壁面が過度に加熱され、危険を招くこともあります。 そ...