ツインチューブ型ゴールドコーティングランプ

ウェーハ処理におけるランプの破損という悪夢を止めるために 高負荷な半導体製造現場で働いたことがある人なら、その感覚をご存知でしょう。ランプが突然爆発する音です。それは単なる部品の故障ではなく、完全な悲劇です。 石英管が破裂すると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。...