半導体ウォッシュシステムにおけるキャビネットの過熱を防ぐための指向性赤外線加熱の利用

半導体洗浄工程における熱漏れの防止 半導体の洗浄工程に携わったことがある人なら、その苦労はよく分かるでしょう。ウエハを正確な温度に保とうとする一方で、装置内部はまるでオーブンのようになってしまいます。 一般的なIRランプは、どこにでも熱を放出するため、使い勝手が悪いです。結果として、大量のエネルギ...