ウェーハ処理用温度センサー

問題点：ウェーハ処理装置における熱の管理 ウェーハ処理装置について話しましょう。確かに、熱は必要ですが、それは正確で制御された熱でなければなりません。 従来の方法では、熱があちこちに散らばってしまい、エネルギーが無駄になります。また、チャンバーの壁面が過度に加熱され、危険を招くこともあります。 そ...