클린룸용 적외선 히터
휘발성 화학물질을 사용할 때 안전을 유지하는 방법
솔직히 말해서, 인화성 용매가 가득한 청정실을 가열하는 것은 매우 위험한 일입니다. 그냥 일반적인 적외선 램프를 사용해도 안 됩니다. 폭발성 증기가 주변에 가득한 상황에서는 아주 작은 스파크나 너무 뜨거운 표면만으로도...
진공 챔버용 적외선 히터
진공 챔버의 벽을 가열하는 것을 중단하세요.
진공 상태에서 웨이퍼나 기판을 가열할 때는 에너지가 오직 목표물에만 전달되어야 합니다. 하지만 문제는 대부분의 시스템에서 ‘열 유출’ 현상이 발생한다는 점입니다. 적외선 방사선은 목표물 대신 챔버의 벽에 부딪혀 그곳에 열이...
스테인리스 스틸 히터 하우징 제작
화학 처리 구역에서의 적외선 히터에 대한 걱정은 그만하세요.
솔직히 말해서, 가연성 용매나 폭발성 기체가 있는 곳에서 적외선 램프를 사용하는 것은 매우 위험한 일입니다. 그런 환경에서는 석영관 자체가 마치 시한폭탄과 같습니다. 약간의 균열이 생기거나 단자 부분에서 스...
웨이퍼용 정밀 IR 센서
도구의 벽면에 에너지를 낭비하지 마세요.
실리콘 웨이퍼를 가열하는 데는 엄청난 양의 에너지가 필요합니다. 문제는 대부분의 일반적인 적외선 장비들이 그 열을 사방으로 방출한다는 점입니다. 그래서 에너지의 상당 부분이 웨이퍼가 아닌 도구의 내벽에 전달됩니다.
결국, 장비...
트윈 튜브 골드 코팅 램프
웨이퍼 처리 과정에서 발생하는 램프 파손이라는 악몽을 막는 방법
높은 부하가 요구되는 반도체 생산 현장에서 일해본 사람이라면 그 느낌을 잘 알 것입니다. 갑작스럽게 램프가 터지는 소리 말입니다. 그건 단순한 부품의 고장이 아니라, 진짜 재앙입니다.
쿼츠관이 폭발하면...
반도체용 금 코팅 인프라레드 램프
왜 우리는 무연 반도체를 위해 금 코팅된 적외선 램프를 사용하는가?
솔직히 말해서, 기존의 대류식 오븐은 그다지 효율적이지 않습니다. 에너지를 공기나 기계의 벽을 데우는 데 사용하고, 그 중 일부만이 실제로 제품에 전달됩니다. 이는 비효율적이며, 솔직히 말해서 구식...
진공 환경에서도 사용 가능한 적외선 히터
진공 상태에서의 적절한 열 공급 방법
반도체를 생산할 때는 엄청난 양의 열이 필요하지만, 웨이퍼가 오염되는 것은 절대 용납될 수 없습니다. 일반적인 저항식 히터로는 이러한 요구를 충족시킬 수 없습니다.
그래서 우리는 진공 환경에 적합한 적외선 램프를 사용합니다. 이...
웨이퍼 경화 램프용 반사판
더 이상 고장 난 램프로 인해 웨이퍼가 망가지는 일을 방지하세요.
고부하 상태에서 웨이퍼를 가공할 때, 램프가 고장나는 것은 단순한 문제나 잠시의 생산 중단으로 끝나는 것이 아닙니다. 그것은 진짜 재앙입니다.
만약 석영관이 파손된다면, 유리 조각들과 할로겐 침전물들이...
반도체 히터용 테플론 와이어
안전을 위해: 반도체 히터의 배선 처리
반도체 제조 과정에서는 “충분히 안전하다”는 것은 존재하지 않습니다. 약간의 전기 누설이라도 단순한 문제가 아니라 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 그렇기 때문에 이러한 히터를 제작할 때는 발열체 자체만큼이나 배선에도 세심한...
스마트 센서 패키징 적외선
클래스 100 클린룸을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
만약 클래스 100 클린룸을 운영하고 있다면, 오염이라는 문제가 얼마나 심각한지 잘 알고 있을 것입니다. 작은 유리 조각 하나나 히팅 요소에서 나오는 가스만으로도 전체 제품이 망가질 수 있습니다.
대부분의 일반적인...
웨이퍼 가공 공구용 온도 센서
문제점: 웨이퍼 가공 장비의 과도한 열 문제
웨이퍼 가공 장비에 대해 이야기해보겠습니다. 물론 열이 필요하지만, 정밀하고 제어 가능한 형태의 열이 필요합니다.
기존의 방식들은 혼란스럽습니다. 열이 사방으로 퍼져나가 에너지가 낭비되며, 챔버 벽면도 위험한 상태가 됩니다...
전문적인 반도체 제조 장비 부품들
제조 현장에서는 굽는 온도의 변동이 경고 신호로 나타나지 않습니다. 대신, 회로선의 폭이 달라지거나 접착 문제가 발생하며, 생산 효율도 점차 떨어집니다. 오븐이나 램프 모듈의 성능이 기준에 미치지 못하면, 포토레지스트의 성질이 변하고 에칭 과정도 제대로 이루어지지 않...
반도체 클린룸용 트롤리 히터
사진저항체를 가열하는 과정에서 단지 반도 정도의 온도 변동만으로도 치명적인 오차가 발생할 수 있습니다. 웨이퍼 건조 과정에서의 느린 온도 상승은 처리 시간을 길게 만들고, 표면 오염의 위험을 증가시킵니다. 그래서 우리는 공정의 변동성을 줄이기 위해 클린룸용 트롤리 히...
오존이 없는 적외선 램프
리소그래피 공정에서, 소프트 베이크 온도가 0.5도만 변해도 치명적인 크기 오차가 나타날 수 있습니다. 이는 단순히 열 문제가 아니라, 정확한 제어가 필요한 문제입니다.
일반적인 램프들은 오존을 생성하는데, 이 오존은 포토레지스트의 접착력을 변화시키고 입자 수도 부정...
심부 자외선(DUV) 리지스트 경화 램프
리소그래피 공정에서는 빠르게 학습해야 합니다. 약간의 오차라도 발생하면, 그로 인해 생산 효율에 큰 영향을 미칠 수 있습니다. 반도 정도의 오차만으로도 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 불순물이 존재하면 양질의 웨이퍼도 순식간에 버려지게 됩니다. DUV 리조스트 건...