클래스 100 등급의 청정실을 실제로 깨끗하게 유지하는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 이미 그 고통을 잘 알고 있을 것입니다. 웨이퍼 위에 단 한 방울의 먼지만 떨어져도 전체 제품이 망가지는 것입니다. 정말 짜증나는 일이죠. 문제는 대부분의 일반적인 가열...

화학 처리 구역에서 IR 가열을 사용할 때의 안전 유지 방법 반도체 공장에서 웨이퍼를 건조할 때는 보통 매우 반응성이 강한 화학물질들을 다루게 됩니다. 이러한 화학물질들은 위험할 수 있습니다. 만약 그 증기가 공기 중으로 퍼져나가서 불꽃이나 너무 뜨거워진 부품과 접촉...

고장 난 램프로 인해 제품이 망가지는 것을 막으세요: MEMS 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 대량 생산 환경에서는 단 한 번의 고장만으로도 모든 것이 망가질 수 있습니다. 순식간에 적외선 램프가 파손되면, 웨이퍼들은 젖은 상태가 되어버릴 뿐만 아니라 유리 조각과 금...

Back on the line, a wet MEMS wafer comes out of cleaning and sits waiting. The next stop—photoresist coat, soft bake, and a clean dry—has zero...