오존이 없는 적외선 램프

리소그래피 공정에서, 소프트 베이크 온도가 0.5도만 변해도 치명적인 크기 오차가 나타날 수 있습니다. 이는 단순히 열 문제가 아니라, 정확한 제어가 필요한 문제입니다. 일반적인 램프들은 오존을 생성하는데, 이 오존은 포토레지스트의 접착력을 변화시키고 입자 수도 부정...