반도체 세척 시스템에서 캐비닛의 과열을 방지하기 위한 방향성 적외선 가열 기술의 활용

반도체 세척 과정에서의 열 누출을 막는 방법 반도체 세척 공정을 경험해본 사람이라면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 웨이퍼의 온도를 정확하게 유지하려고 하지만, 기계 내부는 마치 오븐처럼 뜨거워집니다. 일반적인 적외선 램프는 열을 사방으로 방출하기 때문에 문제가 됩니다...