고장 난 램프로 인해 제품이 망가지는 것을 막으세요: MEMS 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 대량 생산 환경에서는 단 한 번의 고장만으로도 모든 것이 망가질 수 있습니다. 순식간에 적외선 램프가 파손되면, 웨이퍼들은 젖은 상태가 되어버릴 뿐만 아니라 유리 조각과 금...

수소 센서를 제작하는 것은 정밀도가 매우 중요한 작업입니다. 열이 정확한 위치에 가해지지 않으면 화학적 증착 과정이 실패하고, 결국 센서 전체가 사용 불가능해집니다. 우리는 이러한 엄격한 허용 오차를 충족시키기 위해 특별한 히터를 사용하지만, 솔직히 말해서 열을 조절...

도구의 벽면에 에너지를 낭비하지 마세요. 실리콘 웨이퍼를 가열하는 데는 엄청난 양의 에너지가 필요합니다. 문제는 대부분의 일반적인 적외선 장비들이 그 열을 사방으로 방출한다는 점입니다. 그래서 에너지의 상당 부분이 웨이퍼가 아닌 도구의 내벽에 전달됩니다. 결국, 장비...

클래스 100 클린룸을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 만약 클래스 100 클린룸을 운영하고 있다면, 오염이라는 문제가 얼마나 심각한지 잘 알고 있을 것입니다. 작은 유리 조각 하나나 히팅 요소에서 나오는 가스만으로도 전체 제품이 망가질 수 있습니다. 대부분의 일반적인...

문제점: 웨이퍼 가공 장비의 과도한 열 문제 웨이퍼 가공 장비에 대해 이야기해보겠습니다. 물론 열이 필요하지만, 정밀하고 제어 가능한 형태의 열이 필요합니다. 기존의 방식들은 혼란스럽습니다. 열이 사방으로 퍼져나가 에너지가 낭비되며, 챔버 벽면도 위험한 상태가 됩니다...