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고순도 석영 IR 램프를 활용한 MEMS 웨이퍼 건조 시 오염 없는 가열 실현

고순도 석영 IR 램프를 활용한 MEMS 웨이퍼 건조 시 오염 없는 가열 실현

클래스 100 등급의 청정실을 실제로 깨끗하게 유지하는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 이미 그 고통을 잘 알고 있을 것입니다. 웨이퍼 위에 단 한 방울의 먼지만 떨어져도 전체 제품이 망가지는 것입니다. 정말 짜증나는 일이죠. 문제는 대부분의 일반적인 가열...
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