Het stoppen van het nachtmerriesituatie van kapotte lampen tijdens de waferverwerking
Als je eerder hebt gewerkt in een omgeving waar veel semiconductoren worden geproduceerd, ken je dit gevoel vast wel. Die plotselinge ‘pop’-geluid wanneer een lamp kapotgaat… Het is niet zomaar een kapot onderdeel; het is een echte ramp.
Wanneer een kwartsbuis kapotgaat, komen er glasfragmenten en tungstfijnen naar beneden op de wafers. Je productieproces is verwoest. Nu moet je uren – of zelfs dagen – bezig zijn met het schoonmaken van de ruimte, zodat je weer verder kunt gaan met de productie. Het is een lastige situatie die niemand wil meemaken.
Daarom hebben we lampen ontworpen met twee buizen, waarvan de buitenkant bedekt is met goud. Op deze manier kunnen we het probleem van ‘secundaire vervuiling’ voorgoed oplossen.
Het geheim zit in de binnenkant van de lamp.
We hebben het verwarmingselement in een tweede kwartslaag geplaatst. Denk erbij aan als een soort veiligheidsnet. Als de binnenste buis kapotgaat door een stroomstoot of thermische schok, vangt de buitenste buis al het vuil op. Het vuil blijft dus binnenin de lamp, waardoor je wafers schoon blijven. Je kunt de productie voortzetten of de lamp uitschakelen, zonder dat je bang hoeft te zijn voor een grote schoonmaakactie.
Waarom goud?
Standaard kwartslampen verliezen veel energie. Die energie verdwijnt gewoon in de lucht. Om dit op te lossen, hebben we een dunne laag goud op de buitenkant van de lamp aangebracht. Dit goud werkt als een spiegel: het weerkaatst het infrarode licht terug richting het doel. Hierdoor wordt er meer hitte gegenereerd op het oppervlak van de wafer, zonder dat je de vermogenssterkte hoeft te verhogen. Het is dus efficiënter.
Maar let op: goud is gevoelig. Je mag geen agressieve chemicaliën gebruiken om de lampen schoon te maken. Anders raakt de goudlaag beschadigd en zal de lamp eerder kapotgaan. Behandel ze dus voorzichtig.
Het gebruik in de praktijk
Deze lampen zijn ontworpen voor hoge vermogens en kortegolfstraling. Wanneer je ze in een systeem met hoge belasting plaatst, wordt het erg heet. Daarom moet je goed controleren of de koelingssystemen goed werken. Als de luchtcirculatie afneemt, kan de goudlaag ervoor zorgen dat de kwartslaag oververhit raakt. Dit verkort de levensduur van de lamp.
Om de schade door snelle opwarming en afkoeling te verminderen, hebben we versterkte eindkapjes toegevoegd. Ze zorgen ervoor dat de afsluitingen niet falen. Ze kunnen gemakkelijk worden vervangen door de standaard verwarmingscomponenten, zodat je je hele installatie niet hoeft te herbouwen.