降低半导体加工中的时间成本:红外加热与热风循环的比较
为何我们在芯片制造厂中放弃传统对流加热方式,转而使用红外线加热? 试想一下普通的对流烤箱的工作原理:首先加热空气,然后让这些热空气来加热晶圆。这个过程很慢,而且存在漫长的等待时间,因为必须等待整个腔体达到所需温度。在半导体制造厂里,这种等待时间会严重降低生产效率。 因此,我们开始用红外线加热装置来...
通过不锈钢红外加热器外壳设计防止晶圆污染
避免红外灯爆炸带来的灾难 在半导体制造厂中,红外灯的爆炸不仅仅是技术故障,而是一场真正的灾难。当石英管在高压下损坏时,它不仅会停止工作,还会破裂成碎片。这些碎片会直接掉落在晶圆上,从而毁掉整个生产流程。 我们找到了解决方案:将红外灯置于特制的不锈钢外壳中,从而避免这种情况发生。 其工作原理 可以把...
不锈钢加热器外壳制造
不必再为化学处理区域中的红外线加热器担忧了。说实话,在易燃溶剂和爆炸性气体存在的环境中使用红外线灯确实很危险。裸露的石英管在这种环境下简直就像一颗定时炸弹——哪怕有微小的裂痕或电火花产生,都可能引发火灾。这种风险是绝对不能承受的。
因此,我们将整个加热元件置于定制的不锈钢外壳中。这样就能消除潜在的...