通过UHP红外灯的安全设计来防止晶圆受到污染

避免混乱：应对UHP灯中的颗粒污染问题 在高负荷的半导体生产环境中，UHP灯的损坏所带来的后果绝非简单的麻烦或短暂停机那么简单——那简直就是一场灾难。 当石英管破裂时，它不仅会停止工作，还会让玻璃碎片和各种颗粒散落在晶圆表面。这样一来，产品的良率就会下降，而工厂则不得不对整个生产腔室进行彻底清洁。...