通过UHP红外灯的安全设计来防止晶圆受到污染
避免混乱:应对UHP灯中的颗粒污染问题 在高负荷的半导体生产环境中,UHP灯的损坏所带来的后果绝非简单的麻烦或短暂停机那么简单——那简直就是一场灾难。 当石英管破裂时,它不仅会停止工作,还会让玻璃碎片和各种颗粒散落在晶圆表面。这样一来,产品的良率就会下降,而工厂则不得不对整个生产腔室进行彻底清洁。...
利用高纯度石英红外灯实现MEMS晶圆干燥时的零污染加热
如何保持100级洁净室的清洁状态 如果你们需要干燥MEMS传感器晶圆,那么你们肯定知道其中存在的麻烦:哪怕有一粒微小的灰尘落在晶圆上,整个晶圆就报废了。这真是令人沮丧。 问题在于,大多数普通加热元件实际上都是“尘埃制造机”——它们会释放出大量微小颗粒,而这些颗粒往往出现在我们不希望出现的地点。为了...
用于光刻机的石英玻璃屏蔽罩
为什么石英保护罩对您的光刻灯如此重要 如果您使用红外加热灯来处理晶圆,那么您一定知道:必须确保加热过程既快速又精确。为避免一切陷入混乱,我们才会在灯的前面安装石英玻璃保护罩。
这不仅仅是为了保持灯的清洁,更重要的是为了有效控制热量——尤其是当您希望实现绿色能源目标、减少能源浪费时。
关于热量的问题...