通过UHP红外灯的安全设计来防止晶圆受到污染
避免混乱:应对UHP灯中的颗粒污染问题 在高负荷的半导体生产环境中,UHP灯的损坏所带来的后果绝非简单的麻烦或短暂停机那么简单——那简直就是一场灾难。 当石英管破裂时,它不仅会停止工作,还会让玻璃碎片和各种颗粒散落在晶圆表面。这样一来,产品的良率就会下降,而工厂则不得不对整个生产腔室进行彻底清洁。...
通过不锈钢红外加热器外壳设计防止晶圆污染
避免红外灯爆炸带来的灾难 在半导体制造厂中,红外灯的爆炸不仅仅是技术故障,而是一场真正的灾难。当石英管在高压下损坏时,它不仅会停止工作,还会破裂成碎片。这些碎片会直接掉落在晶圆上,从而毁掉整个生产流程。 我们找到了解决方案:将红外灯置于特制的不锈钢外壳中,从而避免这种情况发生。 其工作原理 可以把...