无臭氧红外灯

在光刻工序中，即使软烘烤温度出现半度的变化，也足以导致关键尺寸出现纳米级的偏差。这并非单纯的热量问题，而是一种需要精确控制的工艺环节。 普通灯管会产生臭氧，而臭氧会改变光阻的附着力，同时还会增加颗粒物含量。我们使用无臭氧的红外灯管，这样就能确保温度始终处于设定值范围内，不会出现意外情况。 核心技术...