避免噩梦：当红外灯出现故障时如何保持晶圆清洁 在半导体制造工厂中，红外灯的故障绝非小事，它可能带来严重的后果。想象一下，如果石英管在高压作用下破裂，玻璃碎片和钨丝就会掉落在晶圆上，那样一来，整批晶圆就都废了。这种状况实在令人痛心。正因如此，我们在设计红外灯时始终以“安全第一”为原则。 应对高温与高...

别让坏掉的灯毁掉你的晶圆 在需要高负荷处理晶圆的情况下，如果灯坏掉了，那可不仅仅是让人头疼或造成短暂停机的问题——那简直就是一场灾难。 一旦石英管破裂，玻璃碎片和卤素残留物就会直接落在硅片上。这样一来，整批晶圆就都报废了。这无疑是一场严重的污染灾难。 我们找到了防止这种情况发生的方法：我们在反射器...