晶圆加热的安全距离

在光刻加工过程中，围绕晶圆加热区域设定的安全距离并非所谓的“舒适区”，而是一个必须严格遵守的工艺边界。如果距离太近，就会导致热干扰、光阻层形状变形以及颗粒问题。而如果距离太远，那么加热效果就不够好，从而导致CD均匀性超出标准范围。因此，我们设计了专门的加热平台，以确保这一距离得到精确控制，从而使热...