利用高纯度石英红外灯实现MEMS晶圆干燥时的零污染加热

如何保持100级洁净室的清洁状态 如果你们需要干燥MEMS传感器晶圆，那么你们肯定知道其中存在的麻烦：哪怕有一粒微小的灰尘落在晶圆上，整个晶圆就报废了。这真是令人沮丧。 问题在于，大多数普通加热元件实际上都是“尘埃制造机”——它们会释放出大量微小颗粒，而这些颗粒往往出现在我们不希望出现的地点。为了...