降低半导体加工中的时间成本：红外加热与热风循环的比较

为何我们在芯片制造厂中放弃传统对流加热方式，转而使用红外线加热？ 试想一下普通的对流烤箱的工作原理：首先加热空气，然后让这些热空气来加热晶圆。这个过程很慢，而且存在漫长的等待时间，因为必须等待整个腔体达到所需温度。在半导体制造厂里，这种等待时间会严重降低生产效率。 因此，我们开始用红外线加热装置来...