利用定向红外加热技术防止半导体清洗系统中的柜体过热

遏制半导体清洗过程中的热量泄漏问题 如果你有过处理半导体清洗工艺的经验，就会知道其中存在的难题。我们需要将晶圆保持在精确的温度下，但与此同时，机器内部却会变成一个“烤箱”。 普通的红外灯其实只是把热量向四周散发的灯泡而已，这种方式效率低下且浪费能源。此外，设备外壳也会因为过热而带来安全隐患。 我们...