标签为“臭氧”的页面如下 缩短半导体加工中的循环时间：无臭氧红外加热与强制空气对流技术的对比 为什么还要等待热风加热呢？半导体加工中的红外加热技术 如果你有过从事半导体深度加工的经验，那你就知道使用强制空气加热的麻烦之处。你需要先启动设备，然后等待一段时间，才能让工件达到所需的温度。这种方法效率低下且十分繁琐。 而红外灯则完全改变了这一状况。它们不会加热空气，而是直接将能量传递到被加工的基... 阅读更多 无臭氧红外灯 在光刻工序中，即使软烘烤温度出现半度的变化，也足以导致关键尺寸出现纳米级的偏差。这并非单纯的热量问题，而是一种需要精确控制的工艺环节。 普通灯管会产生臭氧，而臭氧会改变光阻的附着力，同时还会增加颗粒物含量。我们使用无臭氧的红外灯管，这样就能确保温度始终处于设定值范围内，不会出现意外情况。 核心技术... 阅读更多
缩短半导体加工中的循环时间：无臭氧红外加热与强制空气对流技术的对比 为什么还要等待热风加热呢？半导体加工中的红外加热技术 如果你有过从事半导体深度加工的经验，那你就知道使用强制空气加热的麻烦之处。你需要先启动设备，然后等待一段时间，才能让工件达到所需的温度。这种方法效率低下且十分繁琐。 而红外灯则完全改变了这一状况。它们不会加热空气，而是直接将能量传递到被加工的基... 阅读更多
无臭氧红外灯 在光刻工序中，即使软烘烤温度出现半度的变化，也足以导致关键尺寸出现纳米级的偏差。这并非单纯的热量问题，而是一种需要精确控制的工艺环节。 普通灯管会产生臭氧，而臭氧会改变光阻的附着力，同时还会增加颗粒物含量。我们使用无臭氧的红外灯管，这样就能确保温度始终处于设定值范围内，不会出现意外情况。 核心技术... 阅读更多
