停止给真空腔壁加热吧
当您试图在真空中加热晶圆或基材时，希望热量能直接作用于目标物体上。但问题在于，大多数系统都会出现“热量散失”的现象：红外辐射无法直接照射到目标物上，而是四处散射，最终被吸收在腔壁中。这不仅浪费了能量，还会导致设备表面温度过高，从而带来安全隐患。没人希望因为触碰设备外壳而受伤。
这就是为什么我们要使用定向红外技术。
其工作原理
想象一下普通的红外灯——它向各个方向散发热量，覆盖360度范围。而在真空中，没有空气来帮助热量对流，因此热量只能通过辐射传递。如果使用普通灯具，腔壁就会像海绵一样吸收那些多余的热量。
我们通过使用反射器并调整波长来解决这个问题，这样就能将热量集中到目标物体上，从而让腔壁保持低温。很简单吧？
硬件方面
我们通常选择高功率密度的石英管。这类灯能够快速产生热量。此外，由于使用的是短波红外光，热量可以直达基材，而不会影响到周围的空气。
不过，您必须注意功率密度的问题。虽然高功率灯能更快地升温，但它会给电源带来很大压力。如果功率设置过高且反射器角度不正确，就可能导致灯丝烧毁或工件出现过热现象。
我们的建议是：确保灯的长度与目标区域完全匹配，这样就能避免热量泄漏到边缘。
确保安全
定向加热的最大优点就是安全性高。由于热量被集中在目标物体上，操作员就不必担心被外部壳体烫伤。这样一来，您就无需再使用那些笨重的隔热层或昂贵的水冷装置了。只要正确连接电路、调整反射器的角度，热量就能准确到达目标位置。