让我们来聊聊真空红外加热器中的电气安全问题吧 在真空环境中，任何细微的故障都可能引发严重的问题。当您将腔室内的空气抽出后，空气所提供的自然绝缘作用就消失了。在普通房间里，微小的漏点或电弧可能不会被察觉，但在真空环境中，这样的小缺陷却可能导致严重的短路，甚至使整个腔室受损。这可是非常麻烦的情况，实在...

停止给真空腔壁加热吧 当您试图在真空中加热晶圆或基材时，希望热量能直接作用于目标物体上。但问题在于，大多数系统都会出现“热量散失”的现象：红外辐射无法直接照射到目标物上，而是四处散射，最终被吸收在腔壁中。这不仅浪费了能量，还会导致设备表面温度过高，从而带来安全隐患。没人希望因为触碰设备外壳而受伤。...

在真空红外系统中实现精准控温 在制造半导体时，需要大量的热量，但同时又不能让晶圆受到任何污染。普通的电阻式加热器根本无法满足这种需求。 因此，我们选择使用适用于真空环境的红外灯。这类灯无需依赖介质来传递热量，而是直接通过辐射将能量传递到目标物体上。这种方式更加高效。对于那些致力于打造“绿色工厂”的...