节能晶圆加热器

在将晶圆靠近易挥发化学物质进行加热时，如何确保安全呢？说实话，将红外线灯置于易燃溶剂和爆炸性气体附近，实在是一种极其危险的做法。如果在化学清洗过程中使用普通结构的红外线灯，那无异于自找灾难。 为了解决这个问题，我们采用了特殊封装结构来保护红外线灯。 “安全屏障”的作用原理 我们将红外线灯包裹在高纯...