在将晶圆靠近易挥发化学物质进行加热时，如何确保安全呢？说实话，将红外线灯置于易燃溶剂和爆炸性气体附近，实在是一种极其危险的做法。如果在化学清洗过程中使用普通结构的红外线灯，那无异于自找灾难。
为了解决这个问题，我们采用了特殊封装结构来保护红外线灯。
“安全屏障”的作用原理
我们将红外线灯包裹在高纯度的石英或特殊玻璃中。这样做不仅可以保持设备内部的清洁，还能在电路部件与周围空气之间形成一道物理屏障。为了防止任何物质进入灯具内部，我们在连接点处使用了陶瓷与金属相结合的密封装置，从而阻止化学蒸汽进入灯具内部。
这一点非常重要：如果化学蒸汽进入灯具内部，那么这种封装结构就能防止电弧引发火灾。此外，我们还会密切监测灯具表面的温度。如果温度过高，就有可能达到清洁剂的自燃点，而这是绝对不能出现的。
确保稳定性
我们使用短波红外线，因为这种光线可以直接照射到晶圆表面，而不会浪费能量去加热周围的空气。这样一来，溶液中的化学物质就不会过快蒸发。
虽然速度很快，但仍然需要小心，避免过度使用导致密封装置受损。此外，我们还使用了加固型连接器，这样可以保证电路连接稳定，避免因振动而导致导线松动。一旦导线松动，就可能会产生热点，而在化学环境中，热点无疑意味着火灾的隐患。
权衡取舍
没有什么是完美的。在灯丝与晶圆之间添加保护层，确实会稍微降低热传递效率。因此，你可能需要增加功率或延长晶圆的加热时间，才能达到所需的温度。不过，记得调整PLC设置，避免温度过高。