クリーンルーム用赤外線ヒーター
揮発性化学物質を使って清掃する際に、安全を守る方法
正直に言うと、可燃性の溶剤が満ちたクリーンルームを加熱するのは非常に危険です。単純に通常の赤外線ランプを使えばいいというわけではありません。爆発性の蒸気に囲まれている状態では、ちょっとした火花や過度に高温になった表面だけで、作業が大惨事に変わって...
真空チャンバー用赤外線ヒーター
真空チャンバーの壁を加熱するのはやめましょう。
真空状態でウェーハや基板を加熱しようとするとき、エネルギーは一箇所に集中してほしいものです。しかし問題は、ほとんどのシステムにおいて「熱の散逸」が起こってしまうことです。赤外線放射は目的の部分に当たる代わりに、チャンバーの壁に吸収されてしまいます。こ...
ステンレス鋼製ヒーターハウジング製造
化学処理エリアでの赤外線ヒーターの心配はもうやめましょう。
正直に言って、可燃性溶剤や爆発性の蒸気のある場所で赤外線ランプを使うのは、非常に危険なことです。単純な石英管は、そのような環境ではまるで時限爆弾のようなものです。わずかなひび割れや端子からの火花があれば、瞬時に火災が発生してしまいます。...
ウェーハ用高精度IRセンサー
工具の内壁にエネルギーを無駄に使うのはやめましょう。
シリコンウェーハを加熱するには大量のエネルギーが必要です。問題は、一般的なIR装置ではその熱があちこちに散らばってしまうことです。結果として、エネルギーの大部分がウェーハではなく、工具の内壁に当たってしまいます。
要するに、装置の筐体が巨大なヒ...
ツインチューブ型ゴールドコーティングランプ
ウェーハ処理におけるランプの破損という悪夢を止めるために
高負荷な半導体製造現場で働いたことがある人なら、その感覚をご存知でしょう。ランプが突然爆発する音です。それは単なる部品の故障ではなく、完全な悲劇です。
石英管が破裂すると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。...
半導体用金コーティング赤外線ランプ
なぜ、無鉛半導体のために金コーティングされた赤外線ランプを使用するのか？ 正直に言って、従来の対流式オーブンはあまり効率的ではありません。エネルギーの多くが空気や機械の壁を温めるために使われ、そのうちごく一部しか製品に届きません。非効率的で、正直、時代遅れです。 そのため、私たちは金コーティングさ...
真空対応の赤外線ヒーター
真空環境下での適切な加熱方法 半導体を製造する際には、莫大な量の熱が必要ですが、ウェーハが汚染されてしまっては困ります。通常の抵抗式ヒーターでは、このような状況には対応できません。 そのため、私たちは真空環境に適した赤外線ランプを利用します。このランプは、熱を伝える媒体を使わず、放射によって直接エ...
ウェーハ硬化ランプ用反射板
疲労したランプがウェーハを破壊するのを防ごう
高負荷でウェーハの硬化処理を行っているとき、ランプが壊れるというのは、単なる面倒ごとや短時間の停止にとどまりません。それは本当に悪夢です。
もしクォーツチューブが破裂すれば、ガラスの破片やハロゲンの沈着物が直接シリコン上に降り注ぎます。一度破損すれば、...
半導体ヒーター用テフロン線
安全を確保する：半導体ヒーターの配線 半導体製造においては、「十分に安全」というものは存在しません。わずかな電気漏れでさえ、単なる迷惑どころか、大惨事につながります。だからこそ、このようなヒーターを製造する際には、配線に対してもヒーター本体と同じくらい注意を払います。PTFE（テフロン）コーティン...
スマートセンサーパッケージング 赤外線
クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つにはどうすればよいか？
もしあなたがクラス100のクリーンルームを運営しているなら、汚染という問題がいかに深刻かをご存知でしょう。わずかなガラスの破片や、加熱要素から発生する気体さえあれば、作業中の製品が台無しになってしまいます。
ほとんどの一般...
ウェーハ処理用温度センサー
問題点：ウェーハ処理装置における熱の管理
ウェーハ処理装置について話しましょう。確かに、熱は必要ですが、それは正確で制御された熱でなければなりません。
従来の方法では、熱があちこちに散らばってしまい、エネルギーが無駄になります。また、チャンバーの壁面が過度に加熱され、危険を招くこともあります。
そ...
プロフェッショナルなファブ装置用スペアパーツ
製造現場では、焼成温度の変動は警告として現れることはありません。代わりに、ウェーハの線幅のばらつきや接着不良、そして歩留まりの低下といった問題が発生します。オーブンやランプモジュールが本来の性能を発揮できない場合、フォトレジストの特性が悪化し、エッチングの選択性も低下します。熱安定性は、簡単にコン...
半導体クリーンルーム用トロリーヒーター
フォトレジストの焼成時に0.5度程度のずれが生じるだけで、製品の寸法が規格範囲を外してしまいます。ウェーハの乾燥速度が遅いと、処理時間が長引き、表面汚染のリスクも高まります。そのため、プロセスのばらつきをなくすために、クリーンルーム用のトロリーキャビネットにヒーターを搭載しています。
設計上のポイ...
オゾンフリー赤外線ランプ
リソグラフィーフロアでは、ソフトベイクの温度が半度変動するだけで、製品の寸法にナノメートル単位の誤差が生じます。これは単なる熱の影響ではなく、正確な制御が求められるのです。
一般的なランプはオゾンを発生させるため、その残留物がフォトレジストの密着性を悪化させ、粒子数も不正確になります。私たちはオゾ...
深紫外線 DUV レジスト焼成ランプ
リソグラフィーの工程では、すぐに習得できます。わずかなバックアップやハードバックアップの誤差だけでも、予期せぬ品質低下を引き起こします。半度程度の誤差でも、重要な寸法が目標値から外れてしまいます。また、粒子の増加によって、良質なウェーハが瞬く間に廃棄物になってしまうこともあります。DUVレジストの...